Vákuummérő műszerek kalibrációja atmoszférától egészen 10-3 mbar nyomástartományig. A mérőfejek kalibrációját az Oerlikon Leybold Gmbh CS3 elnevezésű kalibráló állomásának segítségével kivitelezzük. A kalibrációs metódus minőségét a CS3 készüléken található nagy pontosságú CTR kapacitív vákuummérőfejek biztosítják.