Az Oerlikon Leybold PENNINGVAC mérőfej hidegkatódos ionizációs és MEMS-Pirani vákuummérők kombinációja. Ez a kombináció lehetővé teszi a mérési tartomány kiterjesztését 1*10-8 mbar nyomástól 1000 mbar nyomásig, amely miatt rengeteg alkalmazás leggyakrabban használt vákuummérője.
A hidegkatódos ionizációs és a MEMS.Pirani vákuummérő között történő váltás automatikusan történik. A mérőfej élettartamát nagyban megnöveli, hogy az automatikus kapcsolásnak köszönhetően nem üzemel magasabb nyomásokon.
A mérőfej beépített kijelzővel is rendelhető.
Tipikus alkalmazási területek:
- Bevonatkészítés
- Általános nyomásmérés (10-8 mbar – 1000 mbar)
- Vákuumkemencék
- Kohászat
- Pásztázó elektron mikroszkóp