- Szállítóképesség (N2): 65 l/s
- Végvákuum értéke: 10-7 mbar
- Turbomolekuláris szivattyú felfutási ideje: 1,5 perc
- Membrán szivattyú szállítóképesség: DIVAC 0,8 T: 0,7 m3/h
- Membrán szivattyú végvákuum értéke: 3 mbar
A szivattyú rendszer két különböző csatlakozással rendelhető:
- DN 63 ISO-K
- DN 63 CF